旋涂是一種用于將均勻薄膜沉積到平坦基材上的程序。通常在基材中心涂上少量涂層材料，基材要么低速旋轉(zhuǎn)，要么根本不旋轉(zhuǎn)。然后使基材高速旋轉(zhuǎn)，以便通過離心力散布涂層材料。 用于旋涂的機器稱為旋涂機，也叫勻膠機。

在涂覆您的第一個薄膜之前，一個成功的結(jié)果需要您注意以下幾點：

? 環(huán)境條件，包括溫度、濕度、空氣中的顆粒物等。

? 您的耗材質(zhì)量——您的化學成分是否新鮮？

? 基材和設備的清潔度。從受污染的基材開始會在開始之前破壞您的過程。

1、正確居中的基板

在旋涂機上將基材準確居中可實現(xiàn)一致的涂層。不規(guī)則的形狀需要以眼睛為中心。方形和矩形基板受益于嵌入式卡盤，該卡盤自動使基板居中并減少旋涂期間的邊緣積聚。

2、靜態(tài)點膠

大多數(shù)人開始使用靜態(tài)分配方法進行旋涂。這是開始旋涂的簡單方法，需要您將化學品分配到固定的基材上。

3、注入你的涂布樣品

使用移液器或注射器穿過旋涂機蓋上的孔，將平穩(wěn)的化學物質(zhì)流分配到基板的中心。一般來說，材料應該被分配，直到它覆蓋基材直徑的50%。

4、開始旋轉(zhuǎn)

一旦分配了正確數(shù)量的材料，就開始涂層程序。汶顥勻膠機在旋涂配方的每一步都可以完全編程，以提高速度和加速度。

5、擴散

您的旋涂機應進行編程，以允許中間步驟將基材加速到中等速度，并允許化學物質(zhì)在表面上順利擴散。

6、多余的材料被丟棄

當材料到達基板邊緣時，進一步的加速步驟將從晶圓上鑄造出多余的材料。汶顥旋涂機的工藝室旨在防止多余的材料濺回基板上。

7、加速到最終旋轉(zhuǎn)速度

最后一步需要您的旋涂機快速加速到產(chǎn)生正確厚度涂層所需的最終旋轉(zhuǎn)速度。

8、溶劑蒸發(fā)

在最終旋轉(zhuǎn)速度下，溶劑將從涂層中蒸發(fā)?？刂菩繖C上的排氣量將使您能夠調(diào)整工藝室中溶劑蒸氣的濃度。

9、邊膠

旋涂工藝會在基板邊緣留下堆積的材料。

10、去除邊膠

圓形晶片上的邊膠去除推薦在涂層工藝后立即在旋涂機中處理。在涂層固化后，溶劑流在低速旋轉(zhuǎn)的同時被引導到基材的邊緣。晶片繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，使任何剩余的溶劑干燥。

11、成品涂層

去除邊緣膠后，涂層過程就完成了。

12、動態(tài)分配

動態(tài)分配是靜態(tài)分配的更出色的替代方案。這需要您在將材料分配到旋轉(zhuǎn)的基材上之前啟動旋涂機。

13、旋轉(zhuǎn)時分配

當旋涂機以大約 500RPM 的速度旋轉(zhuǎn)基板時，化學物質(zhì)被分配。流暢的材料流將均勻分布，以獲得更佳涂層。

14、點膠至基板邊緣

當水坑到達基片邊緣時，停止分配您的化學品。如果將旋涂機編程為在初始分配完成時移動到下一步，則可以獲得更佳結(jié)果。

15、加速進入除膠步驟

當化學物質(zhì)到達邊緣時，應該加速晶片以去除多余的材料。從這一點開始，該過程與靜態(tài)分配相同。動態(tài)分配可以產(chǎn)生更一致的涂層，并有助于減少化學品的使用量。減少所用材料的數(shù)量將節(jié)省資金和清潔汶顥勻膠機的時間。

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