隨著微全分析系統(tǒng)的迅速發(fā)展，關(guān)于其檢測方法的研究也越來越多。電化學(xué)作用一大類常用的分析檢測方法，易于微型化、集成化，具有獨特的優(yōu)勢。在芯片毛細(xì)管電泳安培檢測器中使用最多的金屬電極為鉑電極和金電極，也有銅電極。鉑、金是目前應(yīng)用較多的一種電極材料，它們具有穩(wěn)定的化學(xué)特性、易于提純、加工特性好，可以被加工為各種幾何形狀、尺度的檢測電極；背景電流低，適于微弱信號的高精度測量。同時，對貴金屬電極進(jìn)行表面生物化學(xué)修飾的手段成熟且易于實現(xiàn)，能夠滿足目前對生物化學(xué)檢測日新月異的要求。但相對于碳電極，貴金屬電極存在價格昂貴的缺點。

微電極制備工藝如下圖： 以ITO金屬電極的濕法刻蝕工藝為例：過程結(jié)構(gòu)如下圖所示

裁好、清洗感覺的ITO導(dǎo)電玻璃→涂膠、前烘→覆蓋掩膜版→紫外固化器中曝光→顯影、豎膜→蝕刻→去膜、清洗

汶顥股份提供多種材質(zhì)超微電極制備技術(shù)整體解決方案，包括微電級制備用到的相關(guān)設(shè)備與耗材產(chǎn)品。