紫外線光刻機是 印制板制造工藝中的重要設(shè)備。傳統(tǒng)光刻機的玻璃-邁拉曬架在生產(chǎn)過程中需要人工趕氣,邁拉膜需要經(jīng)常更換。由于冷卻系統(tǒng)過于臃腫,使得其生產(chǎn)成本高、效率 低,已不能滿足PC B 生產(chǎn)的需要。在實驗基礎(chǔ)上設(shè)計了雙玻璃曬架光刻機，改進了其主要組成部分,包括曬架系統(tǒng)、光路系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)以及電氣和控制系統(tǒng)的整體設(shè)計。

       在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。

       附：汶顥光刻機——http://m.hxsygame.com/product/product.php?search=search&lang=cn&class1=149&searchtype=0&content=%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA