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拋光硅片 -
拋光硅片
- 型號(hào)
大小1英寸到4英寸不等，厚度0.2mm、0.4mm、1mm、1.2mm等不同厚度，單面拋光。
拋光硅片簡(jiǎn)介
大小1英寸到4英寸不等，厚度0.2mm、0.4mm、1mm、1.2mm等不同厚度，單面拋光。
拋光硅片參數(shù)及用途：
參數(shù)類型 | Si技術(shù)指標(biāo) |
產(chǎn)品尺寸 | 1-4英寸 |
生長(zhǎng)方法 | 直拉單晶（Cz） |
表面拋光 | 單面拋光 |
直徑公差 | 100.2±0.3mm |
摻雜類型 | 摻雜劑（磷或硼） |
晶體取向 | 100 111 |
電阻率Ω | ＜0.0015 Ω.cm 0.001-0.5Ω.cm 1-10Ω.cm |
平整度TIR | ＜3um |
翹曲度TTV | ＜10um |
彎曲度BOW | ＜10um |
拋光粗糙度Ra | ＜0.5nm |
顆粒度Pewaferr | ＜（for size＞0.3um） |
厚度um | 請(qǐng)咨詢 |
用途 | 用于微流控芯片光刻工藝模具、工藝等同步輻射樣品載體、LPCVD/PECVD鍍膜做襯底、磁控濺射生長(zhǎng)樣品、XRD、SEM、AFM、紅外光譜 熒光光譜等分析測(cè)試基底、分子束外延生長(zhǎng)的基底、X射線分析晶體半導(dǎo)體等諸多科研用途。 |
可提供硅片如下，如有其它需求請(qǐng)咨詢張工：18051487008！
標(biāo)簽: 硅片