- 微流控芯片單層模具加工工藝一、硅片清洗硅片標準清洗，放置200°電熱板15min，烘干。二、硅片修飾將硅片放置于揮發(fā)缸中，滴入1~2滴修飾試劑HMDS，揮發(fā)處理時間≥3min；...2016-04-29 14:44:58
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