• 投影式光刻機(jī) Projection Photoetching Machines投影式光刻機(jī)一般采用步進(jìn)-掃描式曝光。光源并不是一次把整個(gè)掩模上的圖形投影在晶圓上，曝光系統(tǒng)通過(guò)一個(gè)狹縫式曝光帶（slit）照射在掩模上，如1（a）所...2017-12-29 09:04:54
• 一文看懂光刻機(jī)制程和更高效率的生產(chǎn)需要。?創(chuàng)新一：實(shí)現(xiàn)步進(jìn)式掃描投影。 此前的掃描投影式光刻機(jī)在光刻時(shí)硅片處于靜止?fàn)顟B(tài)，通過(guò)掩模的移動(dòng)實(shí)現(xiàn)硅片不同區(qū)域的曝光。 1...2018-05-16 08:59:54
• 光刻技術(shù)的基本原理膜版直接和光刻膠接觸，會(huì)造成掩膜版的沾污。2.2投影式光刻?? ? 投影式光刻機(jī)在現(xiàn)代光刻中占主要地位，據(jù)調(diào)查顯示，投影式光刻機(jī)約占整個(gè)光刻設(shè)備市場(chǎng)...2016-10-10 10:13:26
• 光刻機(jī)的簡(jiǎn)單介紹牌光刻機(jī)的品牌眾多，根據(jù)采用不同技術(shù)路線的可以歸納成如下幾類：高端的投影式光刻機(jī)可分為步進(jìn)投影和掃描投影光刻機(jī)兩種，分辨率通常在十幾納米至幾微米之間...2016-04-18 11:54:16