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'關(guān)鍵字: 電化學(xué)刻蝕'
- 基于電化學(xué)刻蝕與微電鑄工藝具在微電鑄工藝中鑄層與基底結(jié)合力差的問題,在光刻工藝的基礎(chǔ)上,采用掩膜電化學(xué)刻蝕和微電鑄相結(jié)合的方法,制作出了結(jié)合力較好的鎳基雙十字微流控芯片模具。針...2017-10-10 08:38:48
- 微反應(yīng)器的發(fā)展現(xiàn)狀,制造微通道可應(yīng)用的微加工技術(shù)包括:精密機械加工、濕法刻蝕、干法刻蝕、電化學(xué)刻蝕、表面硅工藝技術(shù)、LIGA(光刻、電鑄成模和塑注成型)技術(shù)、電火花加工...2018-08-20 09:35:25
- 微電極的特點、分類、制備方法的設(shè)計制備是微電極電化學(xué)發(fā)展應(yīng)用的關(guān)鍵,目前涌現(xiàn)出的制備微電極的技術(shù)有電化學(xué)刻蝕法、電沉積法、自組裝技術(shù)、化學(xué)鍍層技術(shù)等,這些制備方法為快速制備微電極...2018-06-21 11:36:26
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