圖1 SU-8 Developer（左圖舊包裝，右圖新包裝）

化學(xué)品商品名：SU-8 Developer

生產(chǎn)廠家：Kayaku Advanced Materrials, Inc.(formerly MicroChem)

主要成分：

1-Methoxy-2-propyl acetate (CAS: 108-65-6), > 99.5%丙二醇甲醚醋酸酯 （醋 cu）

2-methoxy-1-propyl acetate < 0.5% 2-甲基丙醇乙酸酯 < 0.5%

顯影原理：

SU-8膠的顯影原理是在顯影液中溶解掉未曝光部分的光刻膠。當(dāng)基片放人顯影液中，未曝光部分的光刻膠會被顯影液溶解。而曝光過的光刻膠已交聯(lián)形成網(wǎng)狀聚合物，因此顯影液對它基本沒有溶解作用，形成與掩模版相反的微結(jié)構(gòu)圖形。

實驗室用戶使用建議：

顯影操作請在通風(fēng)櫥內(nèi)進行。假如用戶給4英寸的硅片顯影，可以在6英寸的玻璃培養(yǎng)皿中倒入適量顯影液，顯影液浸沒硅片即可，可以用拔掉針頭的針筒吸取培養(yǎng)皿中的顯影液并慢慢推注射器使培養(yǎng)皿中的顯影液流動，加塊顯影。觀察硅片表面，可以看到硅片底面反光說明顯影結(jié)束。取出顯影后的硅片，在黃光下觀察，若是有彩色的反光，可以用新的針筒（去掉針頭）抽取新的顯影液，輕輕噴在硅片表面進行沖洗。然后用去離子水沖洗干凈，氮氣吹干。

若用戶有顯影機，可以按照顯影機說明書進行操作。

顯影機（WH-XY-01）

顯影機技術(shù)參數(shù)：

? 震蕩方向：順時針/逆時針

? 轉(zhuǎn)速：10～300RPM

? 液量控制：50～500mL

? 適配硅片/芯片：≤7 寸

? 顯影時間：0～999s

? 進液速度：0～100%

? 電源輸入：AC220V±10V/50HZ

? 功率：150W

? 重量：14 kg

? 外形尺寸：375（W）* 380（D）* 300（H）mm

? 工作環(huán)境：溫度 0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %