光刻膠（Photoresist簡(jiǎn)稱PR）又稱光致抗蝕劑，它是一種對(duì)光敏感的有機(jī)化合物，它受紫外光曝光后，在顯影液的溶解度會(huì)發(fā)生變化。

①光刻膠作用：將掩膜板上的圖形轉(zhuǎn)移到晶圓表面頂層的光刻膠中；在后續(xù)工序中，保護(hù)下面的材料（刻蝕或離子注入）。

②光刻膠的成分

樹(shù)脂：光刻樹(shù)脂是一種惰性的聚合物基質(zhì)，是用來(lái)將其他材料聚合在一起的粘合劑。光刻膠的粘附性、膠膜厚度等都是樹(shù)脂給的。

感光劑：感光劑是光刻膠的核心部分，他對(duì)光形式的輻射能，特別在紫外區(qū)會(huì)發(fā)生反應(yīng)。曝光時(shí)間、光源所發(fā)射光線的強(qiáng)度都根據(jù)感光劑的特性選擇決定的。

溶劑：光刻膠中容量最大的成分，感光劑和添加劑都是固體物質(zhì)，為了方便均勻的涂覆，要將他們加入溶劑進(jìn)行溶解，形成液態(tài)物質(zhì)，并且使之具有良好的流動(dòng)性，可以通過(guò)選擇方式涂布在wafer表面。

添加劑：用以改變光刻膠的某些特性，如改善光刻膠發(fā)生反射而添加染色劑。

③光刻膠的主要技術(shù)參數(shù)

分辨率：是指光刻膠可再現(xiàn)圖形的最小尺寸。

對(duì)比度：指光刻膠從曝光區(qū)到非曝光區(qū)過(guò)渡的陡度。

敏感度：光刻膠上產(chǎn)生一個(gè)良好的圖形所需一定波長(zhǎng)光的最小能力值（或最小曝光量）。

粘滯性/黏度：衡量光刻膠流動(dòng)特性參數(shù)。光刻膠中的溶劑揮發(fā)會(huì)使粘滯性增加。

粘附性：是指光刻膠與晶圓之間的粘著強(qiáng)度。

抗蝕性：光刻膠黏膜必須保持它的粘附性，并在后續(xù)的濕刻和干刻中保護(hù)襯體表面，這種性質(zhì)被稱為抗蝕性。

表面張力：液體中將表面分子拉向液體主體內(nèi)分子間的吸引了。

④光刻膠的分類

根據(jù)光刻膠按照如何響應(yīng)紫外光的特性可以分為兩類：

正膠：曝光前對(duì)顯影液不可溶，而曝光后變成了可溶的，能得到與掩膜板遮光區(qū)相同的圖形。

負(fù)膠：反之

正膠與負(fù)膠優(yōu)缺點(diǎn)：

根據(jù)光刻膠能形成圖形的最小光刻尺寸來(lái)分：

傳統(tǒng)光刻膠（正膠和負(fù)膠）

適用于紫外光（UV），I線365nm、H線405nm和G線436nm，關(guān)鍵尺寸在0.35um及其以上。

化學(xué)放大光刻膠（CAR）

適用于深紫外光（DUV），KrF準(zhǔn)分子激光248nm和Arf準(zhǔn)分子激光193nm。

⑤光刻膠的主要應(yīng)用領(lǐng)域

模擬半導(dǎo)體、發(fā)光二極管（LED）、微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）、太陽(yáng)能光伏、微流道和生物芯片、光電子器件/光子器件、封裝

⑥光刻工藝流程

⑦光刻質(zhì)量要求

光刻的質(zhì)量直接影響到器件的性能，成品率和可靠性。

1.圖形完整性好

2.尺寸準(zhǔn)確

3.邊緣整齊，線條陡直

4.圖形內(nèi)無(wú)針孔，圖形外無(wú)小島

5.硅片表面清潔，無(wú)底膜

6.圖形套刻準(zhǔn)確

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