旋轉涂覆技術一般采用設備是勻膠機。勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉速度及時間有關。汶顥提供進口和國產(chǎn)勻膠機，產(chǎn)品接受定制，轉速范圍0~8000轉和勻膠尺寸8mm-8英寸可選。

從其原理來說勻膠機有以下兩個特點：

　　(1)旋轉速度

　　轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。目前轉速控制方面有國際認定標準，如美國NIST標準等。

　　(2)真空吸附系統(tǒng)

真空泵一般采用無油泵，即通常說的干泵，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況，還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。有的勻膠機通過聯(lián)動機制，當真空吸附力不夠時不會開始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)。

　總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉速度及時間有關。

如何選擇勻膠機

　　1、旋轉速度：轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤勻膠機圖冊差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的大部分低端勻膠機只能提供轉速范圍，并不能標定實時的轉速。

　　2、真空吸附系統(tǒng)的構造

　　真空泵一定要無油的，壓力標定準確，國內生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題，這一點許多國外的勻膠機做得不錯，他們有通過聯(lián)動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉。

　　3、材質的選擇

　　勻膠機對于半導體化工行業(yè)的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，國產(chǎn)的大部分勻膠機采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯（特氟?。┎馁|。這兩種材質具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。