勻膠機旋涂如何改善旋轉(zhuǎn)涂層?

正確居中的基材

準確地將基材放在吸盤中心，以實現(xiàn)涂布一致性減少旋涂過程中的邊緣堆積。 偏心的基材會引起振動和應(yīng)力，至少會影響您的涂層質(zhì)量，最壞的情況會導(dǎo)致基材破碎和旋涂機損壞。

靜態(tài)分配

大多數(shù)人采用靜態(tài)分配方法進行旋涂。這是旋涂最簡單方法，需要您將化學(xué)物質(zhì)分配到固定的基材上。

汶顥勻膠機

分配化學(xué)物質(zhì)

使用移液器或注射器將化學(xué)物質(zhì)分配到基材的中心。通常應(yīng)分配材料蓋基材直徑的50%，多余的材料被清除經(jīng)過速度和加速度實現(xiàn)旋涂后.當(dāng)材料到達基板的邊緣時，進步的加速步驟將從晶四上澆鑄多余的材料。

加速至最終旋轉(zhuǎn)速度

最后一步需要您的旋涂機快速加速到最終旋涂速度，以形成正確厚度的涂層。

去除邊珠

旋涂工藝可能會在基材邊緣留下材料堆積。最好在您的旋涂機中，在涂覆過程結(jié)束后立即去除晶圓上的邊緣珠。涂層固化后，將溶劑流引導(dǎo)至基材邊緣，同時低速旋轉(zhuǎn)。晶片繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，這使所有殘留的溶劑干燥。

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