勻膠機(jī)影響旋涂產(chǎn)品質(zhì)量因素有哪些?

清潔基材

受污染的基材可能不會完全破壞您的涂層，但是為什么您要花時(shí)間和精力進(jìn)行從一開始就存在缺陷的旋涂工藝呢 ?

顆粒污染

清潔后，旋涂過程中可能會發(fā)生顆粒污染。

汶顥勻膠機(jī)

化學(xué)污染

殘留在晶圓上的化學(xué)污染會影響您的旋涂工藝，看不見的污染點(diǎn)產(chǎn)生的涂層空隙等問題。

清潔您的旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)

如果希望獲得最佳的旋涂效果，則旋涂機(jī)應(yīng)該一塵不染。您的旋涂過程成進(jìn)行優(yōu)化以使用最少的化學(xué)劑并且旋涂機(jī)應(yīng)在每次操作結(jié)束時(shí)進(jìn)行清潔。

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