光刻膠主要通過(guò)旋涂的方式進(jìn)行涂布的（又稱為“甩膠”），對(duì)于薄膠，最佳的旋涂轉(zhuǎn)速為2000~4000rpm，對(duì)于相對(duì)膠厚的膠，最佳旋涂轉(zhuǎn)速為250~2000rpm，勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速通?？梢赃_(dá)到9000rpm，在某些情況下，還可以使用1000~200rpm較慢的轉(zhuǎn)速來(lái)獲得特定較厚的膠層。但是這種情況下，膠膜的質(zhì)量會(huì)下降。并且可能會(huì)在晶圓的邊緣形成大量的邊緣膠珠，可以通過(guò)旋涂獲得30~200um的膠厚（取決于光刻膠的類型），也可以使用自流平的方法獲得高達(dá)1mm后的厚膠膜。

需要注意，頻繁打開(kāi)瓶蓋會(huì)導(dǎo)致光刻膠中的溶劑揮發(fā)，從而導(dǎo)致膠變厚，一般來(lái)說(shuō)，對(duì)于1.4um（@4000rpm）的膠，1%的溶劑揮發(fā)會(huì)導(dǎo)致膠厚增加4%，對(duì)應(yīng)的曝光劑量也需要增加。

一般情況下，以1000rpm勻膠轉(zhuǎn)速下獲得的膠厚是4000rpm下膠厚的2倍，可以以此來(lái)估算特定光刻膠的膜厚值。對(duì)于AR-P 3510，在4000rpm轉(zhuǎn)速下膠厚為2.0um，在1000rpm轉(zhuǎn)速下的膠厚約為4.0um，如果可以接受薄膜成膜質(zhì)量差，邊緣膠珠的前提下，250rpm甚至可以獲得8um的膠厚，但是我們不建議這么做。使用高轉(zhuǎn)速可將膠厚控制在1.6um（在6000rpm下）。如下圖所示：

在涂膠轉(zhuǎn)速>1500rpm下，30s的涂膠時(shí)間足以獲得所需的膜厚，但在較低的轉(zhuǎn)速下，其涂膠時(shí)間應(yīng)延長(zhǎng)至60s，對(duì)于加蓋共旋的勻膠機(jī)，雖然其涂膠質(zhì)量較高，但是其厚度通常是開(kāi)放式勻膠機(jī)厚度的70%。對(duì)于薄膠，一般的勻膠時(shí)間為60s足夠了，過(guò)長(zhǎng)的勻膠時(shí)間，反而會(huì)使成膜質(zhì)量變差。

還有一些不常見(jiàn)涂膠工藝，如下：

浸涂：適用于大型或者不規(guī)則形狀的襯底。

噴涂：與旋涂結(jié)合，以節(jié)約光刻膠，也適用于襯底表面有深溝槽結(jié)構(gòu)或者襯底形狀不規(guī)則的情況。

輥涂：大幅面襯底，如防偽、印刷行業(yè)。

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