微閥結構及工作原理主要由2層PDMS片組成：上層PDMS片和下層PDMS片。上層PDMS片不包含微結構，主要用作蓋片，與下層PDMS片封合后，形成具有密閉通道的微閥器件。下層PDMS片為微閥的功能層，集成了閥片、閥塞、微通道等微結構。其中閥片一端垂直固定于流體通道(400 m寬、200 m高)的內壁；而閥塞位于閥片的左側，兩端則都被固定于微通道的側壁上，中間則由一正對于閥片中央的閥塞通道(寬度80 p．m、長度500 Ixm)隔開。微閥閥片與閥塞之間留有微小的間隙通道，主要用于調節(jié)流量。在受到不同方向的流體壓力作用時，閥片發(fā)生變形，通道內的流阻產(chǎn)生變化，改變了流量，而實現(xiàn)對流量的調節(jié)。具體工作過程如下：當微閥受到正向流體壓力作用時(從左至右)，閥片偏離閥塞，閥片與閥塞之間的間隙距離增大，流阻變小，流量增大，微閥正向導通；而當閥片受到反向流體壓力作用時(從右至左)，閥片偏向閥塞，并逐漸與閥塞接觸，閥片與閥塞之間的間隙距離顯著減小，流阻不斷增大，相比于正向流量，反向流量顯著降低，微閥反向截止。因此通過柔性閥片的相對運動，微閥實現(xiàn)了流量調節(jié)功能。