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• 勻膠機(jī)旋涂儀工作原理以及勻膠工藝常見問題勻膠過程介紹一個典型的勻膠過程包括滴膠，高速旋轉(zhuǎn)以及干燥(溶劑揮發(fā))幾個步驟。滴膠這一步把光刻膠滴注到基片表面上，高速旋轉(zhuǎn)把光刻膠鋪展到基片上形成簿層...2017-12-04 13:32:44
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