- 刻蝕工藝:干法刻蝕和濕法刻蝕片上的部分特殊區(qū)域,而未被光刻膠保護的區(qū)域,則被選擇性的刻蝕掉。 1.干法刻蝕和濕法刻蝕 ?在半導(dǎo)體制造中有兩種基本的刻蝕工藝:干法刻蝕和濕法腐蝕。...2017-08-23 16:26:42
- MEMS濕法刻蝕和干法刻蝕的比較蝕。這個腐蝕步驟之后,通常采用去離子水漂洗和隨后的掩膜材料的移除工藝。干法刻蝕的刻蝕劑是等離子體,是利用等離子體和表面薄膜反應(yīng),形成揮發(fā)性物質(zhì),或直...2016-12-13 10:05:25
- 芯片刻蝕技術(shù)中的干法刻蝕技術(shù)、印刷電路和其他微細(xì)圖形的加工。對于芯片刻蝕來說,刻蝕被分為濕法刻蝕和干法刻蝕兩種。干法刻蝕技術(shù)是利用等離子體激活的化學(xué)反應(yīng)或者是利用高能離子束轟擊...2016-10-17 09:14:25
- 光刻加工,旋涂均勻性好,粘附性高,成品質(zhì)量好??涛g工藝刻蝕工藝主要有濕法刻蝕和干法刻蝕。濕法刻蝕是一種純化學(xué)刻蝕,利用液體化學(xué)試劑與待刻蝕材料反應(yīng)生成可溶性...2026-02-23 01:05:53
- 純硅模具圖紙,或者提供草圖及需求由汶顥來繪制設(shè)計。汶顥股份純硅模具的刻蝕主要是干法刻蝕機,首先基地上做好鉻層保護,然后同樣利用光刻工藝實現(xiàn)圖案化做出想要結(jié)構(gòu)...2026-02-23 01:05:53
- 汶顥股份產(chǎn)品服務(wù)一覽表(2020)工光刻工藝:硅片表面SU-8光刻膠加工能力、玻璃濕法腐蝕加工能力、硅片干法刻蝕加工能力。注塑成型工藝:開模能力數(shù)控CNC工藝玻璃加工工藝電極加工工藝...2020-04-16 17:20:54
- 微流控分析芯片工光刻工藝:硅片表面SU-8光刻膠加工能力、玻璃濕法腐蝕加工能力、硅片干法刻蝕加工能力等。注塑成型工藝:開模能力、數(shù)控CNC工藝、玻璃加工工藝、電極...2018-11-16 15:58:38
- 汶顥股份產(chǎn)品目錄(2018年).3.1.2 玻璃濕法腐蝕加工能力????????1.3.1.3 硅片干法刻蝕加工能力???1.3.2 注塑成型工藝????????1.3.2.1 ...2018-01-03 10:39:46
- 微流控芯片的加工制作技術(shù)一定深度微結(jié)構(gòu)的工藝。 根據(jù)刻蝕劑狀態(tài)不同,可將腐蝕工藝分為濕法刻蝕和干法刻蝕兩大類。濕法刻蝕是通過化學(xué)刻蝕液和被刻蝕物質(zhì)間的化學(xué)反應(yīng)將被刻蝕物質(zhì)剝...2025-06-05 10:31:19
- 微流控中的烘膠技術(shù)光刻膠經(jīng)過顯影后,進行烘膠(堅膜)能使光刻膠結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定。例如在后續(xù)進行干法刻蝕、濕法刻蝕或者LIGA等工藝時,烘膠可以讓光刻膠在這些物理或化學(xué)過程中...2025-01-07 10:20:54
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