產(chǎn)品名稱(chēng)：

中國(guó)光電URE-2000A型光刻機(jī)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆ 曝光面積：150mm×150mm

◆ 分辨力：0.8-1μm（膠厚2μm的正膠）

◆ 對(duì)準(zhǔn)精度：0.6μm

◆ 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm

◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

◆ 樣片尺寸：直徑15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm

◆ 照明均勻性： 3.5%（100mm 范圍）； 5%（ 150mm范圍）

◆ 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度

◆ 最大膠厚：500m(SU8膠，用戶(hù)提供勻膠條件)

◆ 光源平行性：3.5

◆ 汞燈功率：1000W（直流）

◆ 曝光設(shè)定方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式0.1s-999.9s任意設(shè)定）

◆ 外形尺寸:1400mm（長(zhǎng)）1200mm(寬) 2150mm（高）

技術(shù)參數(shù) 配置:

（1）曝光頭

◆冷光橢球鏡

◆1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗,長(zhǎng)壽命型)

◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

◆光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡1

、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個(gè)透鏡）、i線濾光片

、場(chǎng)鏡1、場(chǎng)鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

◆冷卻風(fēng)扇

◆循環(huán)水冷系統(tǒng)

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

◆掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

◆轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

◆樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

◆樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，自動(dòng)調(diào)

◆承片臺(tái)4個(gè)（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）

◆掩模夾4個(gè)（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）

◆基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡

◆光源（配備品2只）、電源

◆雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

◆目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）

◆物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）

（4）CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

◆光源（配備品3只）、電源

◆成像光學(xué)系統(tǒng)

◆數(shù)據(jù)采集卡

◆CCD

（5）電控系統(tǒng)

◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

◆單片機(jī)控制系統(tǒng)

◆控制柜桌

◆計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器(21寸寬屏)

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

◆電磁閥驅(qū)動(dòng)

◆氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

◆真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

◆空壓機(jī)一臺(tái)（靜音泵）

◆管道

（8）技術(shù)資料

◆使用維修說(shuō)明書(shū)

◆顯微鏡使用說(shuō)明書(shū)