URE-2000/17型紫外深度光刻機技術(shù)特點： 
        采用雙目雙視場顯微鏡對準(zhǔn)；球碗調(diào)平,單片機控制,觸摸開關(guān),操作方便、實用性強。 

1．技術(shù)參數(shù)

l 曝光面積：4英寸

l 曝光波長：365nm

l 分辨力：1.5mm（膠厚2 mm的正膠）

l 對準(zhǔn)精度：±1mm

l 掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm

l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm 

               厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)

l 曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量

l 照明不均勻性： 5%（f100mm 范圍）

l 雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最大倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍

物鏡三對：4倍、10倍、20倍

目鏡三對：10倍、16倍、20倍

l 掩模相對于樣片運動行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

l 汞燈功率：200W（直流）

l 曝光能量密度：6mW/cm

2．外形尺寸：650mm（長）?600mm(寬) ?900mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

l 200W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

l 光學(xué)系統(tǒng)

l 冷卻風(fēng)扇

（2）對準(zhǔn)工件臺

l 掩模樣片整體運動臺

l 掩模樣片相對運動臺

l 轉(zhuǎn)動臺

l 樣片調(diào)平機構(gòu),手動

l 樣片調(diào)焦機構(gòu)，手動

l 承片臺3個（f50mm 、?75mm 、 ?100mm  ）

l 掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

l 掩模抽拉式上下機構(gòu)

（3）對準(zhǔn)顯微鏡

l 光源（配備品2只）、電源

l 雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

l 目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

l 物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

l CCD（臺灣）

l 21寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

l 汞燈觸發(fā)電源(200W直流汞燈)

l 單片機控制系統(tǒng)

l 控制機箱 

（5）氣動系統(tǒng)

l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

l 電磁閥驅(qū)動

l 氣動儀表 

（6）其他附件

l 真空泵一臺

l 管道

（7）技術(shù)資料

l 使用維修說明書

l 顯微鏡使用說明書