產(chǎn)品名稱(chēng)：

中國(guó)光電URE-2000/25型光刻機(jī)

產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、采用多反射鏡實(shí)現(xiàn)均勻照明；       
2、超精密手輪對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié) ；
3、單片機(jī)控制,觸摸開(kāi)關(guān)操作；  
4、高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程，并提供USB輸出；

5、曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，溫度小于35度）；     
6、采用350W進(jìn)口（德國(guó)）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；
7、整機(jī)精度高、性能可靠、操作方便、具有高性?xún)r(jià)比；

8、既滿足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)；   

9、手動(dòng)上下版、樣片，手動(dòng)調(diào)平；手動(dòng)分離間隙。快門(mén)可單獨(dú)開(kāi)啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)倒計(jì)時(shí)曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999s）

規(guī)格參數(shù)：
1、曝光面積：100mm×100mm（或150 mm×150mm）    
2、分辨力：1.5μm（膠厚2μm的正膠）    
3、對(duì)準(zhǔn)精度：±0.8μm      
4、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm    
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸      
6、樣片尺寸直徑f15mm--f100mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)  
7、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)      
8、照明均勻性：±4%（f100mm范圍）±6%（f150mm范圍）      
9、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：  X:±5mm;  Y:±5mm; q: ±6度      
10、汞燈功率：350W（直流）      
11、曝光波長(zhǎng)：365nm      
12、曝光能量密度：15mW/cm (420nm以上波長(zhǎng)小于0.1mW/cm )     
13、曝光方式：定時(shí)（到計(jì)時(shí)方式0.1s—999s）
14、外形尺寸：1200mm（長(zhǎng)）?900mm(寬)?1600mm（高）