產(chǎn)品名稱：

中國光電URE-2000S/25型光刻機(jī)

技術(shù)參數(shù)：

1、曝光面積：100 mm×100mm（可升級為150 mm×150mm）

2、分辨力：1.2μm（膠厚2μm的正膠）

3、對準(zhǔn)精度：±3μm（雙面，片厚0.8μm），±0.8μm（單面）

4、掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

5、樣片尺寸：直徑f30mm--f100mm（f30mm--f150mm）

                    厚度0.1mm--3mm(雙面)，0.1mm--6mm(單面)

6、照明均勻性：±4%（f100mm范圍） ±7%（f150 mm范圍）

7、掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X:±5mm;   Y:±5mm;q:±6度

8、汞燈功率：350W（直流）

9、曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）

外形尺寸：

1300mm（長）?900mm(寬)?1800mm（高）

配置：

（1）曝光頭

1、冷光橢球鏡

2、350 W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)  lXYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

3、光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（77個(gè)透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

4、卻風(fēng)扇

（2）對準(zhǔn)工件臺

1、模樣片相對運(yùn)動臺

2、轉(zhuǎn)動臺

3、樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動完成

4、樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動調(diào)

5、承片臺3個(gè)（2英寸、3英寸、4英寸）

6、掩模夾4個(gè)（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

7、掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶CCD型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測）

1、光源、電源

2、雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

3、目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）

4、物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）

5、CCD光學(xué)系統(tǒng)（選配件）

6、XYZ底面對準(zhǔn)工件臺

（4）底面CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)

1、光源、電源

2、成像光學(xué)系統(tǒng)

3、數(shù)據(jù)采集卡 

4、CCD

（5）電控系統(tǒng)

1、汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)

2、單片機(jī)控制系統(tǒng)

3、控制柜桌

4、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動系統(tǒng)

1、氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

2、電磁閥驅(qū)動

3、氣動儀表

（7）其他附件

1、真空泵一臺

2、空壓機(jī)一臺 

3、管道

（8）技術(shù)資料

1、使用維修說明書   

2、顯微鏡使用說明書